PECVD化学气相等离子增强

样品台

尺寸规格

1英寸—6英寸

旋转速度

0-20rpm可调，可控

加热温度

≤800℃ 可调，可控           

控温精度

±0.5℃ 日本导电表PID控温 

气路

规格/数量

4路MFC(可配耐腐蚀气路）

冷却方式

水冷

真空腔体

腔体尺寸

Φ500mm X 550mm    

观察窗口

全向可视，带挡板

腔体材料

316不锈钢

开启方式

前开门

上下盖材质

304不锈钢

抽气接口

CF200刀口法兰

进气接口

直径φ6卡套接头

电源配置

直流电源/射频电源

选配DC、RF

耦合方式

电感耦合式或者平板电容式

输出功率

500W—1000W

偏压清洗电源

500v

真空系统

机械泵

15L/S旋片真空泵

分子泵抽气接口

CF150/CF200   620L/S-1600L/S

排气接口

KF25

抽气速率

机械泵15L/s，分子泵1200l/s或1600l/s

极限真空度

≤5×10-5Pa

真空测量

电离/电阻真空规/薄膜规

其他

供电电源

AC 220V /380 50Hz

整机功率

5kW

整机尺寸

900mm X 820mm X870mm

整机重量

200kg