电子束蒸发镀膜机

样品台

尺寸规格

1英寸—4英寸

旋转速度

0-20rpm可调，可控

加热温度

≤800℃ 可调，可控           

控温精度

±0.5℃ 日本导电表PID控温 

电子枪(可选电阻蒸发或束源炉)

规格/数量

4—6坩埚/或环形坩埚

冷却方式

水冷

膜厚监测仪

英福康

型号310

真空腔体

腔体尺寸

Φ500mm X 650mm    

观察窗口

全向可视，带挡板

腔体材料

316不锈钢

开仓方式

前开门

上下盖材质

316不锈钢

抽气接口

CF200/CF250刀口法兰

进气接口

直径φ6卡套接头

电源配置

电子枪/蒸发电源

选配

输出功率

8KW

真空系统

机械泵

中科科仪双极旋片真空泵

分子泵抽气接口

CF150/CF200

排气接口

KF25

抽气速率

机械泵8L/s，分子泵1200l/s

极限真空度

≤5×10-5Pa

真空测量

电离/电阻真空规

其他

供电电源

AC 380 50Hz

整机功率

10kW

整机尺寸

800mm X 920mm X870mm

整机重量

200kg