沈阳搏锐源真空科技有限公司
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PECVD化学气相等离子增强
2021-08-18
![PECVD化学气相等离子增强 PECVD化学气相等离子增强](/uploads/cp/20210818052414.jpg)
样品台 |
尺寸规格 |
1英寸—6英寸 |
旋转速度 |
0-20rpm可调,可控 |
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加热温度 |
≤800℃ 可调,可控 |
|
控温精度 |
±0.5℃ 日本导电表PID控温 |
|
气路 |
规格/数量 |
4路MFC(可配耐腐蚀气路) |
冷却方式 |
水冷 |
|
真空腔体 |
腔体尺寸 |
Φ500mm X 550mm |
观察窗口 |
全向可视,带挡板 |
|
腔体材料 |
316不锈钢 |
|
开启方式 |
前开门 |
|
上下盖材质 |
304不锈钢 |
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抽气接口 |
CF200刀口法兰 |
|
进气接口 |
直径φ6卡套接头 |
|
电源配置 |
直流电源/射频电源 |
选配DC、RF |
耦合方式 |
电感耦合式或者平板电容式 |
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输出功率 |
500W—1000W |
|
偏压清洗电源 |
500v |
|
真空系统 |
机械泵 |
15L/S旋片真空泵 |
分子泵抽气接口 |
CF150/CF200 620L/S-1600L/S |
|
排气接口 |
KF25 |
|
抽气速率 |
机械泵15L/s,分子泵1200l/s或1600l/s |
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极限真空度 |
≤5×10-5Pa |
|
真空测量 |
电离/电阻真空规/薄膜规 |
|
其他 |
供电电源 |
AC 220V /380 50Hz |
整机功率 |
5kW |
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整机尺寸 |
900mm X 820mm X870mm |
|
整机重量 |
200kg |
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