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磁控溅射为什么具有"低温"，"高速"两大特点
2023-09-18
这跟磁控溅射的“磁控”有关。
磁控就是在二级溅射的基础上，在靶材周围形成磁场，在电场和磁场的作用下，束缚住电子，让电子做螺旋运动。电子是维持放电的重要因素。电子寿命增加，数量增多，不需要太高的功率就能完成自维持放电。这就是高速的原因，同样，不需要高能耗溅射的结果导致溅射过程中，内部温度不高，基本维持在几十摄氏度左右。
磁控就是在二级溅射的基础上，在靶材周围形成磁场，在电场和磁场的作用下，束缚住电子，让电子做螺旋运动。电子是维持放电的重要因素。电子寿命增加，数量增多，不需要太高的功率就能完成自维持放电。这就是高速的原因，同样，不需要高能耗溅射的结果导致溅射过程中，内部温度不高，基本维持在几十摄氏度左右。
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