真空镀膜机的操作程序

2024-07-15

1、检查真空镀膜机各操作控制开关是否在关位置；
2、打开总电源开关，设备送电；
3、低压阀拉出，开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起；
4、安装固定钨螺旋加热子，把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上，把铝丝穿放在螺旋加热子内，清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物；
5、落下钟罩；
6、启动抽真空机械泵；
7、开复合真空计电源；
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。