镀膜机RF源作用

2023-03-20

镀膜机RF源运用于高度控制的光学镀膜的离子束辅助沉积或离子束沉积。RF离子源首先使用13.56MHz高频信号激励电离子体，产生等离子体，然后分别抽出离子、电子，让其在空间内中和形成等离子体的高能离子源。
镀膜机常用的几种镀膜方法

镀膜机镀工件，有好几种镀膜方式，需要根据产品工件的特性，以及要到达的效果和使用环境去选择镀膜方式的，需要的效果不一样，采用的镀膜工艺是有差别的。真空蒸发、溅射、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀）。

镀膜机电弧离子镀是通过低电压和高电流将靶材离化成离子状态，从而完成薄膜材料的沉积，该技术材料的离化率更高，薄膜性能更加优异。