磁控溅射镀膜系统
2021-08-18 00:00:00
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样品台 |
尺寸规格 |
1英寸—4英寸 |
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旋转速度 |
0-20rpm可调，可控 |
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加热温度 |
≤800℃ 可调，可控 |
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控温精度 |
±0.5℃ 日本导电表PID控温 |
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溅射靶 |
规格/数量 |
1英寸—4英寸 （数量2-4） |
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冷却方式 |
水冷 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
Φ400mm X 450mm |
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观察窗口 |
全向可视，带挡板 |
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腔体材料 |
316不锈钢 |
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开启方式 |
顶盖电动升降或者前开门 |
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上下盖材质 |
304不锈钢 |
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抽气接口 |
CF200刀口法兰 |
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进气接口 |
直径φ6卡套接头 |
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电源配置 |
直流电源/射频电源 |
选配DC、RF |
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输出功率 |
500W—1000W |
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偏压清洗电源 |
500v |
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真空系统 |
机械泵 |
8L/S旋片真空泵 |
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分子泵抽气接口 |
CF150/CF200 620L/S-1600L/S |
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排气接口 |
KF25 |
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抽气速率 |
机械泵8L/s，分子泵1200l/s或1600l/s |
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极限真空度 |
≤5×10-5Pa |
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真空测量 |
电离/电阻真空规 |
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其他 |
供电电源 |
AC 220V /380 50Hz |
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整机功率 |
3kW |
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整机尺寸 |
700mm X 820mm X870mm |
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整机重量 |
200kg |
