磁控溅射镀膜

2025-12-05

磁控溅射是在直流溅射基础上，添加与电场垂直的磁场形成正交电磁场。电子受洛伦兹力做螺旋运动，延长在靶材附近的运动路径，提升与氩气分子的碰撞几率，进而提高电离效率，能在低气压下产生充足离子流。该技术具备沉积速率快、薄膜均匀性佳，通过射频方式还可溅射绝缘材料等优势，适用于大面积半导体、太阳能电池薄膜等大规模生产场景。